plasma表面處理設(shè)備在國(guó)內(nèi)也被稱之為plasma設(shè)備，是21世紀(jì)工業(yè)上的新設(shè)備，利用活性成分的性質(zhì)處理樣品表面，達(dá)到清潔的目的，除了具有清潔的作用外，還可以進(jìn)行活化和腐蝕等，廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域以下是plasma表面處理設(shè)備的工作流程和注意事項(xiàng)。
       plasma表面處理設(shè)備中的等離子體基本是在特定的真空度條件下、電離等特定場(chǎng)所產(chǎn)生的，如低壓氣體的光輝等離子體。簡(jiǎn)而言之，plasma表面處理設(shè)備的清潔須要在真空度狀態(tài)下(通常要保持在100帕上下)，因此須要真空泵來(lái)進(jìn)行抽真空操作。其基本環(huán)節(jié)是將須要清潔的部件送進(jìn)真空室進(jìn)行固定，啟動(dòng)真空泵等裝置，將真空度排出到10Pa左右的真空度，然后將等離子體清潔用的氣體引入真空室(根據(jù)清潔材質(zhì)的不同，選擇的氣體也不同，例如O2、H2、Ar、N2等)，將壓力保持在100Pa左右的真空度室內(nèi)的電極和接地裝置之間施加高頻電壓，氣體被破壞，通過(guò)輝光放電產(chǎn)生離子化，在真空度室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體（完）全復(fù)蓋清潔部件后，開(kāi)始清潔作業(yè)，清潔環(huán)節(jié)持續(xù)數(shù)十秒到數(shù)分鐘。

下面具體介紹下使用等離子清洗機(jī)要注意什么:
1、在開(kāi)啟plasma表面處理設(shè)備之前，要做好各種準(zhǔn)備工作，首先要對(duì)操作的工作人員進(jìn)行技術(shù)方面的培訓(xùn)，讓他們能夠熟練掌握操作的程序，嚴(yán)格按照操作要求進(jìn)行使用。
2、在正式使用plasma表面處理設(shè)備之前，要對(duì)它運(yùn)行時(shí)的參數(shù)進(jìn)行正確的設(shè)置，并且要按照儀器的使用說(shuō)明書(shū)去認(rèn)真的執(zhí)行操作，不能隨意地使用。
3、保護(hù)等離子體點(diǎn)火裝置，以確保等離子清洗機(jī)正常開(kāi)啟，否則會(huì)導(dǎo)致開(kāi)啟困難或異常開(kāi)啟。
4、如果對(duì)一次風(fēng)管沒(méi)有通風(fēng)的情況下，要保證plasma表面處理設(shè)備的發(fā)生器的運(yùn)行時(shí)間在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，不能大于設(shè)備說(shuō)明書(shū)上要求的時(shí)間，要不然會(huì)把燃燒器破壞掉，從而造成很多不必要的損失。
5、要定期進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。維修及保養(yǎng)plasma表面處理設(shè)備時(shí)，首先要將設(shè)備電源關(guān)掉，待斷電后再進(jìn)行相應(yīng)運(yùn)作，確保不能帶電工作，以免發(fā)生意外。