半導體封裝的多個環節中，為了達到日益提高的要求，等離子清洗設備受到眾多生產制造商的青睞。
1）基板與芯片粘接前的預處理。高分子材料的表面一般都呈惰性，具有疏水性，粘接效果因此很差，如果是進行精細的組裝工序時，粘接效果差會導致縫隙的產生，后續應用會產生安全隱患，使用時也會出現故障，等離子表面處理能讓粘接效果得到改善，讓材料的表面增加活性和提高浸潤性，產品的可靠性因此而顯著提高，使用壽命大大延長。

2）引線框架塑封預處理。半導體在封裝時，引線框架采用的是銅合金材質，表層易出現銅的氧化物或者其他有機污染物，因此可能會導致密封膜密封銅合金引線框架之間產生分層，因此無論密封多么嚴密，這些分層也會導致密封效果變差，因此在封裝工序之前需要對引線框架的表面進行清潔，等離子清洗機能夠對其進行徹底的清洗，還能夠活化表面，無需使用化學清洗劑和溶液，清洗成本大幅降低。

3）微電子器件集成電路引線鍵合預處理。在進行鍵合時，鍵合的區域需要保持清潔并且表面要具有鍵合所需的特性，如果有污染物附著在表面，引線鍵合的拉力值會因此衰減，使用等離子表面處理不僅可以清洗，還能夠活化表面，滿足引線鍵合需要的要求和特性。
就目前來說，半導體封裝成本最低以及生產效率最大化的封裝方式依舊還是塑封，依舊是封裝的主流方式，使用等離子清洗設備能夠讓塑封的很多不足之處得到彌補，并且多個環節都可以使用等離子表面處理。
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