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CRF plasma 等離子清洗機

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哪些領域可以應用-CRF小型等離子清洗器

        CRF小型等離子清洗器!設備的特點及各加工行業的應用越來越廣泛,尤其是科研領域具有獨特功能:等離子清洗、蝕刻、等離子電鍍、等離子噴涂、等離子灰化和表層改性等在電鏡等方面的特殊應用,并論述了等離子清洗蝕刻機的特殊性及其在現代科學研究中不可替代性。小型等離子清洗器呈現的等離子體是由氣體分子在真空、放電等特殊條件下呈現的特有現象。一般等離子包括電子,離子,自由基和質子。正如勢能需要將固體變為氣體,而制造離子體也需要勢能,離子可以與電磁反應傳導。

小型等離子清洗器

       小型等離子清洗器在密閉溶器內安裝2個電極片以產生電場線,滿足相應的真空度,并且隨著氣體越來越稀薄,分子間隔和分子或離子的自由運動距離越來越遠,在電場線的作用下,碰撞產生等離子體,呈現輝光放電。在輝光放電過程中,氣壓、放電功率、氣體組分、流速、物料類型等因素對材質的腐蝕(效)果有重要影響。因為等離子體輝光放電是由真空紫外光,對蝕刻率有積極影響,氣體中含有中性微粒、離子和電子。中性顆粒與溫度、電子能量對應的溫度較高,稱為非平衡等離子體和冷等離子體,主要表現出電中性(準中性)氣體所呈現的高自由基和離子活性,其勢能足以破壞所有化學鍵,在物質的表層上都會呈現化學反應。通常情況下等離子體中微粒的勢能為數十電子伏特,與高聚物材質的組合鍵(數十電子伏特)相比,能夠破壞有(機)大分子的化學鍵,但遠低于高能放射線鍵,不影響基體的性能。粘結劑在電鍍、粘接、焊接操作過程中,常因殘余物而減弱,這些殘余可通過等離子體選擇性地去除。與此同時氧化層對鍵合質量也有危害,需要等離子清洗,提高焊接穩定性。
       在小型等離子清洗器蝕刻過程中,通過高能氣體,蝕刻物會變成氣相。被處理過的氣體和基體材質從真空泵中抽出,并被處理過的氣體連續覆蓋。不被蝕刻的部分重新覆蓋材質(如半導體工業用鉻膜覆蓋材質)。CRF小型等離子清洗器也被應用在蝕刻塑料表層,使其充滿氧,同時分析其分布。在塑料印刷和粘接過程中,蝕刻技術作為預處理的重要手段,如等離子處理可大大提高粘接濕面積。使用活性堿金屬可提高粘接能力,但這種方法不容易掌握,而且溶液毒性大。采用等離子體技術,不僅能保護環境,而且(效)果更好。等離子體結構可以較好的處理物體表層,同時在表層產生活性層,進行塑料粘結和印刷。

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