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CRF plasma 等離子清洗機

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等離子清洗機的輝光顏色有哪幾種呢?

       等離子清洗機為什么會產(chǎn)生輝光呢?原因就在于等離子清洗機在使用過程中,會使用不同的氣體進行工藝處理。在低氣壓條件下,將一定的電壓加到兩個平板電極上即可形成輝光放電,是一種穩(wěn)定的自持放電,其放電電流的大小為毫安數(shù)量級。等離子清洗機在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體變稀薄,分子之間的間距和分子或離子的自由運動的距離也越來越長,而后通過電場作用發(fā)生碰撞而形成等離子體。離子是沒有方向性及規(guī)則性的,發(fā)生反應時離子不斷抨擊物體的表面使之產(chǎn)生相互碰撞,不同氣體發(fā)出輝光顏色不同,是因為發(fā)生了不同的物理反應。利用等離子處理會發(fā)出輝光,又稱之為輝光放電處理。

等離子清洗機

       輝光放電在兩極電場的作用下,電子和正離子分別向陽極、陰極運動,并在此過程中堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū) 。又因為正離子的漂移速度遠小于電子,所以正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)要大得多,讓整個極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內。這也是輝光放電的顯著特征,而且在輝光正常放電時,兩極間電壓不會隨著電流的改變而發(fā)生變化。
       而等離子清洗機在使用過程中,會使用不同的氣體進行工藝處理。不同氣體中的能級均具有不同的能量轉換,不同工藝氣體顯示了不同特點的發(fā)光,并因此產(chǎn)生不同特征的顏色。每種氣體電子躍遷時發(fā)出的光波長都不一樣,所以也就能夠看到不同顏色的輝光了。當然你加(大)功率到一定程度看起來都是白光,因為光子太多了。等離子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述:CF4:藍色SF6:淡藍色SiF4:淺藍色SiCl4:淺藍色Cl2:淺綠色CCl4:淺綠色H2:粉紅色O2:淡黃色N2:紅色致黃色Br2:紅色He:紅色致紫色Ne:磚紅色Ar:暗紅色等離子清洗機產(chǎn)生的輝光顏色不僅可用于識別工藝氣體,還可以用于定性評估工藝氣體是否含有污染物。


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