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CRF plasma 等離子清洗機(jī)

支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)

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高科技清洗-等離子清洗機(jī)

—:等離子清洗機(jī)的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"”"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面﹔被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子﹔產(chǎn)物分子解析形成氣相﹔反應(yīng)殘余物脫離表面。

等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型﹐均可進(jìn)行處理,對(duì)金屬﹑半導(dǎo)體氧化物和大多數(shù)高分子村料,如聚丙烯﹑聚脂﹑聚酰亞胺﹑聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及夏雜結(jié)構(gòu)的清洗。 

二:等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn):

1、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢哉麄€(gè)工藝流水線的處理效率;

2、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害﹐同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問題;

3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性﹔

4、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng),這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果像是甚至更好;

5、使用等離子清洗,可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)﹔

6、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa,這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高,加上清洗過程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑,這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;

7、使用等離子清洗,避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)﹑排放等處理措施,所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生;

8、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體﹑氧化物,還是高分子材料:如聚丙烯﹑聚氯乙烯﹑聚四氟乙烯、聚酰亞胺﹑聚、環(huán)氧樹脂等高聚物都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的村質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗﹔

9、在完成清洗去污的同時(shí),還可以改善材料本身的表面性能·如提高表面的潤(rùn)濕性能﹑改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

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