等離子體清潔機(jī)產(chǎn)生的電子、離子和自由基在金屬表面清洗過(guò)程中的作用：
一、CRF等離子體清潔機(jī)產(chǎn)生的電子在金屬表面清洗過(guò)程中的作用
       在等離子體清潔機(jī)中，電子與原子或分子之間的碰撞會(huì)產(chǎn)生激發(fā)態(tài)中性原子或原子團(tuán)（又稱自由基），激發(fā)態(tài)原子或自由基與污染物質(zhì)分子發(fā)生活化反應(yīng)，使污染物質(zhì)脫離金屬表面。當(dāng)電子輸送到表層清潔區(qū)域時(shí)，與被清潔表層吸附的污染物質(zhì)分子發(fā)生碰撞，會(huì)促使污染物質(zhì)分子分解，產(chǎn)生活性自由基，有利于進(jìn)一步激活污染物質(zhì)分子；而且，質(zhì)量小的電子比離子運(yùn)動(dòng)快得多，所以電子比離子早到達(dá)物體表層，使表層有負(fù)電荷，有利于進(jìn)一步激活反應(yīng)。

二、等離子體清潔機(jī)離子在金屬表面清洗過(guò)程中的作用
       一方面，陽(yáng)離子被物體表層的負(fù)電荷加速，獲得巨大的動(dòng)能。純物理碰撞會(huì)剝離附著在物體表層的污垢；另一方面，陽(yáng)離子的沖擊也可以增加物體表層污染物質(zhì)分子發(fā)生活化反應(yīng)的概率。
二、等離子體清潔機(jī)產(chǎn)生的自由基在金屬表面清洗過(guò)程中的作用
       一般來(lái)說(shuō)，等離子中自由基的數(shù)量多于離子，呈電中性，使用壽命長(zhǎng)，能量大。在清洗過(guò)程中，表層污染物質(zhì)分子容易與高能自由基結(jié)合，產(chǎn)生新的自由基。這些新的自由基也處于高能狀態(tài)，極不穩(wěn)定，容易分解成小分子，同時(shí)產(chǎn)生新的自由基。這個(gè)過(guò)程將繼續(xù)進(jìn)行，直到分解成穩(wěn)定揮發(fā)的簡(jiǎn)單小分子，最終將污染物質(zhì)從金屬表面分離出來(lái)。在這個(gè)過(guò)程中，自由基的主要作用是活化過(guò)程中的能星傳遞。在自由基與表層污染物質(zhì)分子結(jié)合的過(guò)程中，會(huì)釋放出大量的組合能量，釋放出來(lái)的能量作為促使表層污染物質(zhì)分子新活化反應(yīng)的動(dòng)力，有利于污染物質(zhì)在等離子的活化作用下更徹底地去除。