真空等離子清洗機兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光，等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，達到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有(機)物，以及其它化學物質，從而達到表面處理、清洗和刻蝕效(果)，經過等離子處理工藝可以實現有選擇的表面改性。

       真空等離子清洗機工作過程：
       真空等離子清洗機包括一個反應腔室、電源和真空泵組。樣品放置反應腔室內，真空泵開始抽氣致一定的真空度，電源啟動便產生等離子體，然后氣體通入到反應腔室，使腔室中的等離子體變成反應等離子體，這些等離子體與樣品表面發生反應，生產可揮發的副產物，并由真空泵抽出。
       真空等離子清洗機在醫療領域中的應用：
        1、 導尿管的處理
       導尿管給需要留置導尿的患者帶來了福音，在臨床上的應用越來越廣，但隨著其應用的增多，導尿管拔除困難的情況也越來越常見。特別是長期留置的導尿管，有時由于橡膠的老化會造成氣囊管腔的阻塞，強行拔除時可能會引起嚴重的并發癥。為了防止硅橡膠與人體接觸表面的老化，需要對其表面進行氧等離子處理。用掃描電子顯微鏡(SEM)、紅外光譜(FTIR-ATR)和表面接觸角研宄天然膠乳導尿管經氧等離子體處理前后的表面結構、性能和化學成分的變化，結果表明用氧等離子體處理后的導尿管表面變滑，表面接觸角由84°減少致67°，表面無有害基團產生，說明氧等離子體處理是一種有效的表面處理方法。另外，可用等離子處理硅橡膠以增加其表面活性，然后在表面涂度一層不易老化的疏水材料，其(效)果也很好。
       2、靜脈輸液器
       輸液器末端輸液針在使用過程中，拔出時針座與針管之間會出現脫離現象，一旦脫離，血液會隨針管流出，如不及時正確處理，對病人會造成嚴重威脅。為了確保這類事故的發生，對針座進行表面處理是很有必要的。針座孔很小，普通方法難處理，而等離子體是一種離子狀態的氣體，對微小的孔也可以有效處理。應用等離子對其進行表面活(化)處理，可改善表面活性，提高其與針管的粘接強度，以確保它們之間不會脫離。下圖為針座在等離子清洗機中進行表面清洗活(化)處理。
       3、生物培養板
       用于改善PS培養板表面親水性，接枝特定化學基團，并進行表面殺(菌)。