1.真空電磁閥
真空等離子清洗機在工作時需維持工藝要求的真空度及真空腔體的密封，因此其連接腔體的各氣路閥門必須滿足真空密封要求，一般選擇相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。真空等離子清洗機為保證運行穩定性，因此都是一個真空電磁閥控制一路氣體，所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式的。
2.氣動球閥
真空等離子清洗機的進氣量是由流量計所控制的，它的工作原理是通過調節通入氣體閥門的大小來實現通流量的控制，等離子清洗機使用的流量計分為氣體浮子流量計和質量流量控制器(MFC)兩種。氣動球閥具有高真空密封、耐腐蝕、口徑大等特點，所以當真空等離子清洗需通入特殊單體時會被應用于氣路控制中。根據實際使用需求選用兩通式或三通式。
氣體浮子流量計是通過手動調整開啟閥門的大小來實現氣體流量控制，閥門開啟后會受氣體壓力變化、震動等多因素影響而造成實際通入氣體流量浮動范圍大，不適用于對工藝氣體流量要求嚴格的等離子清洗機。
質量控制器一般都是自動對工藝氣體的質量流量進行精密測量和控制，保證等真空離子清洗機處理工藝的穩定;對于部分腐蝕性氣體或其他特殊氣體也可以實現準確的控制。
3.止逆閥
止逆閥又稱止回閥，在氣路控制中主要是防止氣體回流，起到保護氣路控制部分其他器件和防止相互反應氣體匯合的作用。使用時需注意其標注的氣流方向。真空等離子清洗機通入的氣體通常都是潔凈度相對較高的工藝氣體，因此氣體調壓及處理組件基本結構多為調壓閥和過濾器組成。它的主要作用是將氣壓控制在所需要的壓力范圍內及過濾氣體中可能含有的雜質，以此來保障后端流量計等組件的運行穩定性和氣體潔凈度。目前真空等離子清洗機的常用的氣體調壓及處理組件按結構特點可以分為組合式和一體式兩種形式。
